ASTM F863-1984(1992)E01 自旋涂覆保护层中缺陷检测

作者:标准资料网时间:2024-05-15 04:19:52 浏览:9938 来源:标准资料网

【英文标准名称】:PracticeforDetectionofDefectsinSpin-CoatedResist
【原文标准名称】:自旋涂覆保护层中缺陷检测
【标准号】:ASTMF863-1984(1992)E01
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1984
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电阻器;电子工程;误差检测;电阻;涂覆的
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:A29
【国际标准分类号】:
【页数】:
【正文语种】:

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