ISO 12406-2010 表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法

作者:标准资料网时间:2024-05-20 02:38:52 浏览:8490 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—Methodfordepthprofilingofarsenicinsilicon
【原文标准名称】:表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法
【标准号】:ISO12406-2010
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2010-11-15
【实施或试行日期】:2010-11-15
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:砷;校准;化学分析和试验;晶体;深度剖面;精整;数学计算;二次离子质谱分析法;硅;光谱测定法;表面;试验结果;测试
【英文主题词】:Arsenic;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Crystals;Depthprofile;Finishes;Mathematicalcalculations;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Spectrometry;Surfaces;Testresults;Testing
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesasecondary-ionmassspectrometricmethodusingmagnetic-sectororquadrupolemassspectrometersfordepthprofilingofarsenicinsilicon,andusingstylusprofilometryoropticalinterferometryfordepthcalibration.Thismethodisapplicabletosingle-crystal,poly-crystaloramorphoussiliconspecimenswitharsenicatomicconcentrationsbetween1×1016atoms/cm3and2,5×1021atoms/cm3,andtocraterdepthsof50nmordeeper.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:20P.;A4
【正文语种】:英语

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